真空ロータリーユニオンジョイント

真空ロータリーユニオンジョイントは、真空システムの固定部分と回転部品の間の密封された接続を実現するために使用される重要なデバイスです。高い真空または超高真空環境で良好な気密を維持することができ、シャフトまたはワークピースが真空チャンバーで回転できるようにします。
 

利点

高い真空シーリングパフォーマンス
真空ロータリージョイントは、高精度の機械的シール構造を採用し、シーリング漏れ速度は1×10µpa・m³/sで制御できます。業界で一般的に使用されている1×10のPA・m³/s標準と比較して、そのシーリングパフォーマンスは2桁改善されました。このシーリング能力により、関節は10°PA以上の真空環境で安定に動作できるようになり、システムへの外部ガス浸潤のリスクを効果的に減らし、機器の動作サイクルを拡張し、メンテナンス頻度を減らすことができます。

優れた機械的耐久性
ロータリージョイントは、内部に高速鋼ベアリングを使用しており、耐摩耗性が良好です。実験条件下では、このタイプのベアリングの連続操作寿命は10,000時間に達する可能性があり、これは通常のベアリングの2倍以上です。摩擦損失の影響は、製品設計で完全に考慮されています。接触面と潤滑構造を最適化することにより、1,500 rpmの速度で安定した動作を維持することができます。これは、連続した高負荷作業環境に適しています。

合理的な熱膨張制御
シーリング要素は、5×10秒未満の熱膨張係数を持つ材料を使用し、劇的な温度変化を伴う環境では構造変形速度が小さくなります。この機能により、シーリング状態は、-40度の動作温度範囲内の熱応力が+150程度に容易に影響を受けることができないため、密閉された接続の長期的な安定性が保証されます。このパフォーマンスは、高温および寒い交互および高温の真空システムで使用する必要がある機器にとって特に重要です。

幅広いアプリケーション
ロータリージョイントは、真空負の負圧から0.6 MPaの陽圧まで、中程度の圧力範囲で安定して働くことができ、さまざまな産業用アプリケーションのニーズをカバーします。その用途エリアには、半導体機器、真空コーティングシステム、バイオ医薬品、科学研究実験機器などが含まれます。標準製品の供給を満たす間、非標準のサイズ、材料、およびインターフェイス形式のカスタンドソリューションを提供して、ユーザーの特定の使用環境に応じて実際の適応性とシステムの互換性を高めます。